品 质 特 征 高精度大理石工作台。 三轴精密线性导轨，高稳定性、高精度。 美国TEO彩色工业级600TV线高清CCD。 可程控三杯八区LED表面光，直轴轮廓光（可选配同轴光）。 精密光学尺0.0005mm。 自主研发功能强大的自动测量软件，可手动编程测量。 全电脑控制，可自动对焦，测量高度，深度，平面度 CCD 高分辨率彩色摄像机600TV线 变焦物镜 变倍镜头0.7－4.5X 视频放大倍率 30－235X 工作距离 82mm 显示分辨率 0.0001mm 运动控制系统：四轴全闭环控制：三轴交流伺服马达全闭坏控制，预压线性滑轨与研磨级滚珠螺杆驱动，同轴控制镜头组。 重复性 1.5μm 线性精度(μm) XY轴≦(3+L/200)um,Z轴≦(5+L/200)um 外形尺寸（mm) 1600*1200*1700 仪器重量(kg) 1800kg 照明 可程控四环八区LED表面光及轮廓光，亮度可调 电源 220V±10%(AC) 50HZ