电弧石英坩埚
用电弧法生产的乳白石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。我厂还可以生产各种尺寸的透明和半透明材质的石英坩埚。这些产品可以根据应用范围按标准规格生产，也可以按您要求定做非标准规格的坩埚。
纯度的化学分析
元素名称 | Al | Fe | Ca | Mg | Ti | Ni | Mn | Cu | Li | Na | K | Co | B |
含 量 | 11.6 | 0.3 | 0.5 | 0.5 | 1.0 | 0.01 | 0.05 | 0.01 | 0.7 | 0.43 | 0.42 | 0.03 | 0.04 |
标准规格尺寸：
Dimensions
坩埚尺寸
Dimensions | 外径
OD | 高度
Height | 厚度(WT) | R | r |
T1 | T2 | T3 |
8" | 203±2 | 153±3 | 5.5±1.5 | 3 | 8.5 | 305 | 30 |
10" | 254±2 | 178±3 | 6.0±1.5 | 3.5 | 9 | 305 | 70 |
12" | 305±2 | 228±3 | 6.5±1.5 | 4 | 9.5 | 305 | 80 |
14" | 355±2 | 254±3 | 7.5±1.5 | 5 | 10.5 | 400 | 90 |
16" | 404±2 | 305±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 400 | 90 |
18" | 457±2 | 355±3 | 8.5±1.5 | 6 | 11.5 | 500 | 120 |
20" | 508±4 | 381±3 | 10±3 | 6 | 11.0 | 500 | 120 |
22" | 558±4.5 | 381±3 | 10±3 | 7 | 11.0 | 558 | 89 |
24" | 610±4.5 | 381±3 | 11±2 | 7±1 | 11.0 | 610 | 89 |