Q25扫描电子显微镜
简单易用并且负担得起的高低真空高分辨样品表征工具
产品说明
用于表征宽范围的材料样品，Q25 SEM简单易用为应对研究需求的多样性提供了灵活性和多功能。Q25提供了所有数据：表面和成分像与元素分析结合起来可以用来确定材料性能如结构和元素组成。
今天的研究超越了简单的金属和喷镀样品，Q25可以应对传统样品的表征-金属、断口和抛光的截面，也可以应对不导电软材料---快速轻松地减少您的研究人员的在仪器上的时间。用户界面简单易学，而且足够灵活地处理更加有挑战性的研究。例如标准的导航功能包括双击样品台移动及缩放。SmartSCAN™技术采用聪明的扫描策略使得更容易减少噪声和提供更好的数据。在设计时考虑到各种经验水平的用户，Q25的易用性是最好的。更好的数据、更多的灵活性、高效。Q25允许快速简单的操作以便快速获取答案以及为投资带来更多价值。
优点
◆简单易用，即使是新手利用直观的软件可实现高效操作。
◆快速轻松表征导电和非导电样品
◆样品制备工作最少化：低真空下可以对不导电无荷电成像和分析
◆支持可选的分析功能。利用独有的多级穿过透镜的真空系统在高真空和低真空下使导电样品和不导电样品的精确EDS分析成为可能。
◆利用稳定的高束流（上至2μA）电子束可以迅速获得精确的分析结果。
![]()
????↑黄铜断口背散射图像展示了成分信息
![]()
主要技术参数
电子光学
· 高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪
· 固定式物镜光阑，使用方便
·45度大锥角物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统
· 最大水平视野宽度：6.5mm (工作距离10mm)；11.3mm (工作距离25mm)
· 加速电压: 200 V - 30 kV
· 束流:最大2μA并连续可调
· 放大倍数：13 x–1,000,000 x
· 使用工厂预对中灯丝更换方便
分辨率
· 高真空模式：
- 30 kV下3.0 nm (SE)
- 30 kV下4.0 nm (BSE)
- 3 kV下8.0 nm (SE)
· 低真空模式：
- 30 kV下3.0 nm (SE)
- 30 kV下4.0 nm (BSE)
- 3 kV下10.0 nm (SE)
样品室
· 左右内径284 mm
·10 mm分析工作距离
·8个探测器/附件接口
·EDS采集角: 35°
探测器
· 高真空模式，E-T二次电子探头
· 低真空模式，大视场气体二次电子探头(LFGSED)
· 极靴底部安装双环分隔式定向型背散射电子探头(DBS)
· 样品室红外CCD相机
· 支持能谱仪选项(EDS)
真空系统
·1个70 l/s涡轮分子泵
·1个旋转机械泵
· 样品室真空度(低真空)：10–270Pa
· 典型换样时间:高真空模式≤150秒；低真空模式≤270秒(FEI标准测试程序)
样品座
· 多样品座(可同时装7个样品)
· 单样品座，样品座直接装在样品台上
系统控制
·32位图形用户界面，Windows XP操作系统，键盘，光电鼠标
·1台19寸液晶显示器,分辨率1280 x 1024
· 扫描预设模式
图像处理器
· 电子束驻留时间：0.025–25,000μs/像素
· 最大4096 x3536像素
· 图像文件格式: TIFF (8，16，24位)，BMP或JPEG，标准
· 单幅图像显示
·SmartSCAN智能扫描技术(256帧平均或积分，线积分和平均，隔行扫描)
·DCFI (漂移补偿积分)
支持文档
· 在线用户手册
·RAPID™(远程诊断软件)– 需利用网络
保修和培训
·1年保修期
· 可选择维修/维护合同
· 可选择操作/应用培训合同
消耗品
· 更换钨灯丝
· 光阑
· 机械泵油
· 样品室真空度(高真空)：< 9x10-4 Pa
安装要求
(详细数据，请参考“预安装手册”)
· 电源：
-电压：100 - 240V (-6%, +10%)
-频率：50 or 60 Hz (+/- 1%)
-耗电量：电镜基本单元< 3.0kVA
· 接地：0.10 (欧洲标准)
· 环境：
-最高工作温度15 - 25 C；相对湿度< 80% RH (无冷凝)
-杂散磁场：< 100nT非同步频率；< 300nT同步频率
· 最小门宽：0.9 m
· 重量：主机450kg
· 干燥氮气(推荐使用)：0.7 - 0.8 bar，放气时最大流速10 l/min，干泵1.0 bar, 2 l/min
· 噪音: < 68 dBC，需场地测试确定
· 震动：需场地测试确定
· 可选购减震台
节能措施
·Energy Star认证的显示器和工作站
· 无需冷却水和空压机
· 采用真空缓冲罐来降低90%的预抽泵运行
样品台规格
· 类型：四轴马达驱动，全对中样品台
·X/Y = 50 x 50 mm
·Z = 50 mm (25 mm马达驱动/ 25 mm手动)
· 旋转，R = n x 360°
· 倾斜，T =–15°/ +75°
· 最大样品高度：75 mm (位于全对中点间隙)
· 样品台最大样品承重：在样品台任意位置500 g (0°倾斜条件下最大至2 kg)
·X/Y全移动及360°可旋转范围的最大样品尺寸：100 mm (直径) x 6 mm (厚/高)
![]()